材料・部品の品質確認、問題解決のお手伝いをする 東邦化研材料解析部

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表面・断面観察計測

顕微鏡

情報化社会の発展に伴い、様々な品物に対する品質要求は高まる一方です。また、高機能化や小型化により取り扱う部品も小さくなり、品物の出来栄え確認に目視だけでは対応できません。そこで我々は様々なツールを用いて拡大観察することにより、状況を把握し、対処を行っております。当社ではお客様の目となるよう、様々な拡大観察・計測サービスを行っております。

※観察をご希望される対象物の大きさや箇所(例えば構造物内部や断面等)によって、観察に用いる機器や前処理が異なります。お気軽にご相談ください。

超高分解能電界放出形
走査電子顕微鏡(FE-SEM)

超高分解能観察に適したコールドFE電子銃を搭載したセミインレンズタイプのFE-SEMで、ナノオーダーの観察が可能です。また、低加速での観察ができ、試料へのダメージも軽減できます。

積層 薄膜 断面

詳細画像積層 薄膜 断面 ×100K

膜断面が高倍率で拡大観察及び膜厚計測が可能です。膜厚・膜質の現状把握や、最適な条件確立等のシーンで、有効な評価基準の一つになります。

Au粒子

詳細画像Au粒子 ×100K

大小のAu粒子形状がはっきりと確認できます。電子顕微鏡の分解能確認など、装置の状態を確認するために使われます。

セラミックス破面

詳細画像セラミックス破面 ×5K

無蒸着でも、セラミックス破面の様相(凹凸)が綺麗に拡大観察できます。

Cuグリット

詳細画像Cuグリット ×1.5K Cuグリット ×4K Cuグリット ×4K 計測

Cuグリット材等の微小開口部でもその様相が観察可能です。

ビーズ粒子

詳細画像ビーズ粒子 ×100K ビーズ粒子 ×100K 計測 ビーズ粒子 ×300K ビーズ粒子 ×300K 計測

各ビーズの粒径が500nm程度と微小でも、拡大観察、及び計測が可能です。

ハルセル試験後のメッキ膜 断面

詳細画像ハルセル試験後のメッキ膜 断面A ハルセル試験後のメッキ膜 断面B ハルセル試験後のメッキ膜 断面C

ハルセル試験後のメッキ断面です。場所による膜厚の違いも、ミクロン~ナノオーダーまで観察可能です。

走査電子顕微鏡(SEM)

デジタルマイクロスコープより更に拡大し、対象物の形態を観察します。導電性の無い有機物、無機物でも、そのまま観察する事が出来ます。また、導電処理を行うことで、より鮮明に像を得ることが可能です。

チップ 断面

詳細画像チップ 断面 ×50 チップ 断面 ×200 チップ 断面 ×1000 チップ 断面 ×2000

電子部品の断面を研磨・琢磨し、拡大観察しました。チップ断面像より出来映えを評価できます。

白色粉

詳細画像白色粉 ×850 白色粉 ×3000

目視では白色の細かな粉ですが、拡大すると10ミクロン程の片状、1~数ミクロンの粒子が凝集したものであることが見えます

アスベスト

詳細画像アスベスト ×1000計測 アスベスト ×1000 アスベスト ×2000 アスベスト ×50

アスベストの詳細分析にはSEMが用いられます。SEM観察では焦点深度が深いため、試料の立体的な像を見る事ができます。

異物 錆び箇所

詳細画像異物 錆び箇所 ×50BSE 異物 錆び箇所 ×50BSE 異物 錆び箇所 ×50BSE 異物 錆び箇所 ×50BSE 異物 錆び箇所 ×50BSE

基板表面に異常があった時に表面を拡大観察することで、錆びによる変色か、付着物か等の確認ができます。

電極 接合箇所 断面

詳細画像電極 接合箇所 断面 ×200 電極 接合箇所 断面 ×1000 電極 接合箇所 断面 ×2000

電極部とデバイスとの接合箇所の状態を確認できます(×200倍)。さらに拡大する事で電極トップの微小箇所の観察も可能です。(×2000倍)

フィルター付着物

詳細画像フィルター付着物 ×130

マイクロスコープでは確認しづらいフィルター付着物の形状確認がSEM観察では可能です。

デジタルマイクロスコープ

目視でははっきり見えない小さな異物や、観察したい特定箇所の拡大観察、寸法計測にはデジタルマイクロスコープが有用です。走査電子顕微鏡では得られない色情報を取得できます。また、立体物や液中の浮遊物も観察できます。

チップ 断面

詳細画像チップ 断面 ×30 チップ 断面 ×500

チップ電極部に異常があった時に、マイクロスコープでの断面観察により大まかな状況把握が可能です。

チップ 立体画像

詳細画像チップ 立体画像 ×20 チップ 立体画像 ×100 チップ 立体画像 ×300

マイクロスコープは焦点深度が深く、深度合成機能により凹凸のある試料でも鮮明な画像が得られます。

繊維製品

詳細画像繊維製品 ×50 繊維製品 ×200 繊維製品 ×300 繊維製品 ×1000

身近にある繊維製品に異常が発生した際、それぞれの倍率で拡大観察する事で、より異常発生状況を確認する事ができます。

印刷物

詳細画像印刷物 印刷物 ×1000

名刺の印刷部を拡大し、さらに高倍率にするとトナー粒子の形態観察ができます。

異物

詳細画像異物 異物 ×500 異物 ×500hdr

基板表面に異常があった時に表面拡大する事で、錆びによる変色か、付着物か等の事前確認が可能です。更にSEMで見る事で高倍率での観察や元素情報が得られます。

偏光フィルム 断面

詳細画像偏光フィルム 断面 ×20 偏光フィルム 断面 ×200 偏光フィルム 断面 ×500 偏光フィルム 断面 ×1000

目視では1枚に見えるフィルムも、断面を拡大観察する事で、積層数や各層の厚みを計測する事が出来ます。

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